SEM原位冷热台的应用背景

SEM:扫描电子显微镜（Scanning Electron Microscope ，缩写 为SEM），简称扫描电镜，是利用细聚焦电子束在样品表面扫 描时激发出来的各种物理信号来调制成像的一种常用的显微分析仪器。

      SEM原位冷热台是一种在扫描电子显微镜（SEM）标准样品台上（无需改造电镜内部），提供样品原位变温测试的电镜附件。通过外接法兰装置实现对冷热台上的样品进行控温，稳定后温控精度可达±0.1℃ 可实现样品变温测试的温度范围：蔡康SEM原位冷热台-196~200℃ / -196~200℃/-120-600℃/RT-1500℃，满足原位高低温材料相变微观表征。SEM原位冷热台适合于各种样品在SEM中进行高低温结构研究，固定在现有样品台上,还可以加上探针构成探针冷热台。支持在现有各种扫描电子显微镜（日立、国仪量子等）适配。

蔡康SEM原位冷热台特点：

（1）通过加热和制冷可实现快速升降温
（2）控温精度高±0.1℃，可程序阶梯控温，温控范围宽（-196~200℃ / -196~200℃/-120-600℃/RT-1500℃）
（3）能在较大的电子束流下获得高质量图像
（4）可定制SEM样品架，使用过程简单
（5）制冷完成测试后可快速（60℃/min）升温达到室温，正常更换样品，测试效率高。